yy.vip易游-北方华创取得进气系统及半导体工艺设备专利提高快速进气模块的流量计的校准精度

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　　国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“一种进气系统及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN223884395U，申请日期为2025年2月。

　　专利摘要显示，本申请公开了一种进气系统及半导体工艺设备，进气系统用于给半导体工艺设备的反应腔供气，所述进气系统包括：主进气模块，用于连接第一流量的气源；快速进气模块，内部设有相互连通的进气通道和出气通道，所述进气通道用于连接第二流量的气源，所述出气通道用于连接所述反应腔，其中，所述第二流量小于所述第一流量；第一连接管路，一端与所述主进气模块连通，另一端与所述出气通道连通，所述第一连接管路上设有第一阀门；第二连接管路，一端与所述主进气模块连通，另一端与所述进气通道连通，所述第二连接管路上设有第二阀门。本申请可以提高快速进气模块的流量计的校准精度，以及提高主进气模块和快速进气模块的流量计的校准结果的一致性。

　　天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1368次，财产线条，此外企业还拥有行政许可340个。

　　声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。